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    場發射掃描電子顯微鏡 超高分辨

    簡要描述:國儀量子超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡SEM5000X,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現了低電壓分辨率的進一步提升。

    • 產品型號:SEM5000X
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2026-02-11
    • 訪  問  量:5837

    詳細介紹

    超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

    SEM5000X是一款超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。

    產品優勢:

    •超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

    •樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術,挑戰極限樣品拍攝場景

    •高精度機械優中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計,可搭配整體罩殼設計,極大減弱環境對極限分辨率的影響

    •最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導體和科研應用需求



    應用案例

     

     

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